凈化車間也叫無塵車間、潔凈室、無塵室；是指將一定空間范圍之內(nèi)的空氣中的微粒子、有害氣體、細(xì)菌等之污物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍之內(nèi)，給予特別之設(shè)計(jì)的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有凈化車間，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。那么凈化車間是由哪幾部分組呢？

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# 凈化車間共有五部分組成

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隔間

凈化車間隔間分為三大部分，更衣室，千級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū)，更衣室與千級(jí)區(qū)，千級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū)均設(shè)風(fēng)淋室(airshower)，凈化車間與室外設(shè)有物品出入通道傳遞箱(passbox，當(dāng)人員進(jìn)入凈化車間時(shí)，首先要經(jīng)過風(fēng)淋室，對(duì)人體所帶的灰塵吹淋，減少人員帶入凈化車間的灰塵，傳遞箱則是對(duì)物品灰塵進(jìn)行吹淋，達(dá)到落塵的效果。

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風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)系統(tǒng)流程圖

系統(tǒng)采用的是全新風(fēng)空調(diào)箱+FFU 系統(tǒng)：

<1>全新風(fēng)空調(diào)箱結(jié)構(gòu)

<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風(fēng)機(jī)和過濾器

千級(jí)區(qū)過濾器采用HEPA，過濾效率99.997%，百級(jí)區(qū)過濾器采用ULPA，過濾效率99.9995%。

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水系統(tǒng)水系統(tǒng)流程圖

冰水系統(tǒng)分為一次側(cè)和二次側(cè)。一次側(cè)冰水水溫7-12 度，供給空調(diào)箱和風(fēng)機(jī)盤管，二次側(cè)冰水12-17度供給干盤管系統(tǒng)，一次側(cè)冰水和二次冰水為兩個(gè)不同的回路，之間由板式換熱器連接。

板式換熱器原理：

干盤管：不結(jié)露的盤管，因凈化車間溫度在22 度，其露點(diǎn)溫度12 度左右，故7 度冰水不能直接進(jìn)入凈化車間，所以進(jìn)干盤管的冰水溫度在12-14 度。

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控制系統(tǒng)(DDC)溫度：干盤管系統(tǒng)控制

濕度：空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過感測的信號(hào)，控制三通閥開度來調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進(jìn)水量。

正壓：空調(diào)箱調(diào)節(jié)，根據(jù)靜壓感測的信號(hào)，自動(dòng)調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率，從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。

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其他系統(tǒng)

不只是空調(diào)系統(tǒng)，凈化車間系統(tǒng)中還包括有真空、空壓、氮?dú)狻⒓兯U水、二氧化碳系統(tǒng)、制程排氣系統(tǒng),檢測標(biāo)準(zhǔn)：

1、氣流速度及其均勻度檢測，這項(xiàng)檢測是凈化車間效果的其他各項(xiàng)檢測的前提，這項(xiàng)檢測的目的是為了明確單向流凈化車間工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。

2、系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測。

3、室內(nèi)潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度級(jí)別，可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測。

4、自凈時(shí)間的檢測。通過確定自凈時(shí)間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。

5、氣流流型檢測。

6、噪聲的檢測。

7、照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

8、振動(dòng)的檢測。振動(dòng)檢測的目的是為了判明凈化車間各表明的振動(dòng)幅度。

9、溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測凈化車間的送風(fēng)溫度，檢測有代表性測點(diǎn)的空氣溫度，檢測凈化車間中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內(nèi)空氣相對(duì)溫度，檢測回風(fēng)溫度。

10、總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測。

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# 什么是凈化車間(Clean Room)

用通俗易懂的語言來描述的話，凈化車間就是在某個(gè)空間的空氣中塵埃、微粒子控制在一定數(shù)值以下，把壓力、溫度、濕度、氣流分布及其形狀和速度控制在一定范圍內(nèi)為目的而建造的屋子。

什么是潔凈度(Class)：就是指單位體積( 通常是立方英尺) 的空氣中含有大于、等于0.5μm 直徑的塵粒的數(shù)量，也稱為無塵度。

什么是塵粒？

塵粒是微小的灰塵、懸浮的東西。塵粒越小，其表面積的比例相對(duì)增加，并不遵從牛頓定律運(yùn)動(dòng)，按重力垂落。而是在空氣中做不規(guī)則的運(yùn)動(dòng)，這種運(yùn)動(dòng)叫布朗運(yùn)動(dòng)。因是懸浮的東西,而且做不規(guī)則的運(yùn)動(dòng)，在潔凈化技術(shù)、產(chǎn)品制造中是令人頭痛的代表物。總之，塵粒會(huì)對(duì)產(chǎn)品成品率高低影響至關(guān)重要。如：電腐蝕現(xiàn)象。

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