按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。

每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。

以下是無塵車間需知的凈化參數：

1、隔間、吊頂材質、吊頂高度；

2、地坪材質；

3、是否恒溫恒濕；

4、是否需要排風；

5、車間總人數多少；

6、車間工藝設備的發熱量；

等等一系列的參數.

10萬級無塵車間的標準是：

塵埃最大允許數（每立方米）；

大或等于0.5微米的粒子數不得超過3500000個，大或等于5微米的粒子數不得超過20000個；

微生物最大允許數；

浮游菌數不得超過500個每 立方米；

沉降菌數不得超過10個每培養皿。

壓差：相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。

十萬級無塵車間對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃；夏季24~26℃；波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%，夏季潔凈室濕度控制在50-70%。

配電：無塵車間（區）的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。

噪聲控制

一、動態測試時，萬級無塵車間內的噪聲級不應超過70分貝A。

二、靜態測試時，萬級亂流無塵車間的噪聲級不宜大于60分貝A。

氣流組織

十萬級無塵車間主要采用的送風方式；

1、局部孔板頂棚送風；

2、帶擴散板高效空氣過濾器頂棚送風；

3、上側墻送風 等三種送風方式。

十萬級無塵車間主要采用的回風方式；

1、單側墻下部布置回風口；2、當采用走廊回風時，在走廊內均勻布置回風口或在走廊端部集中設置回 風口。

送風口風速米/秒：

1、孔板孔口3~5；

2、側送風口：

（1）貼附射流2~5；

（2）非貼附射流同側墻下部回風1.5~2.5，對側墻下部回風1.0~1.5。

回風口風速（米/秒）：

1、潔凈室回風口不大于2；

2、走廊內回風口不大于4。

人員進出10萬級無塵車間標準操作程序

1 目的

建立10萬級無塵車間人員進出標準操作程序，保證無塵車間不受人員污染。

2 范圍

車間10萬級無塵車間人員的進出，包括生產操作人員、維修人員及管理人員。

3 責任

3.1 凡進出10萬級無塵車間的人員均應對此操作程序負責。

3.2 無塵車間班組長、現場品管員負責監督、檢查。

4 內容

4.1 進入無塵車間門口，放下自己的雨具、物品于規定位置。

4.2 換拖鞋。在換鞋處，坐在鞋凳上，脫去家居鞋，并將其放入鞋柜，旋轉180度，在鞋柜上層取出自己的拖鞋穿上。

4.3 換工作服。進入一般工作區辦公室，脫下員工便服，換上工作服。

4.4 洗手。按洗手流程清洗手部。

4.5 換工作鞋。進入更鞋間門口，坐在橫凳上，面對門外，脫去拖鞋，將拖鞋放入鞋柜下層，從鞋柜上層取出自己的工作鞋，坐著旋轉180度背對門外穿上。

4.6 洗手、烘干。

4.6.1 在洗手池用水潤濕雙手至腕上10cm,用清潔劑洗滌，使手及手腕上10cm的皮膚均充滿泡沫，摩擦約15秒鐘。

4.6.2 用水沖洗雙手，沖凈手上泡米，雙手上下翻動，摩擦，直至不感滑膩為止。

4.6.3 用眼檢查雙手是否已清潔干凈。

4.6.4 將手掌伸至烘手機下8~10cm處，烘手，至干為止。

4.7 換潔凈內衣褲。脫下工作服放入個人的更衣柜內，從一更更衣室墻壁掛鉤上取下含有個人編號的工作帽、工作衣、工作褲換上。按從上到下的順序穿上，即：先戴帽、口罩，再穿上衣，然后穿褲子。注意要將上衣全部扎緊褲袋里，頭發全部塞入帽內，并檢查衣帽是否整齊。

4.8 洗手、消毒。

4.8.1 在洗手池用水潤濕雙手至腕上10cm,用清潔劑洗滌，使手及手腕上10cm的皮膚均充滿泡沫，摩擦約15秒鐘。

4.8.2 用水沖洗雙手，沖凈手上泡米，雙手上下翻動，摩擦，直至不感滑膩為止。

4.8.3 用眼檢查雙手是否已清潔干凈。

4.8.4 消毒。將雙手至腕上10cm浸泡到含氯消毒液中30秒。

4.8.5 將手掌伸至烘手機下8~10cm處，烘手，至干為止。

4.9 穿連體服。從衣柜里取出含個人編號的連體服。按從下到上的順序穿上，注意不允許讓連體服接觸到地面。

4.10 收消毒。推門進入緩沖室，雙手放在裝有75%乙醇的自動感應噴霧器下方，噴霧消毒，摔動雙手，讓乙醇揮干。

4.11 進入無塵車間。打開緩沖室門，進入無塵區。

4.12 人員出潔凈區按進入潔凈區相反的程序進行。注意拖工作衣時要按從下到上的順序脫衣。

4.13 外來參觀人員須經工廠同意，在車間管理人員指導和監督下，按規定程序進出無塵車間。外來參觀人員必須嚴格遵守車間無塵各項管理規定。無塵車間生產期間，外來參觀人員不得進入。

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